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  • E世博ESBALL和洁净等级标准
    来源:    发布时间: 2012-10-28 13:17   5375 次浏览   大小:  16px  14px  12px

     E世博ESBALL(Clean Room),亦称为E世博ESBALL或清净室。它是污染控制的基础。没有E世博ESBALL,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,E世博ESBALL被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。E世博ESBALL是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。

      依据美国联邦政府颁布的标准【Federal AtandardFS209E1992】,可将E世博ESBALL分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果E世博ESBALL的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,E世博ESBALL等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35/立方英尺)。而集成电路制造所需的E世博ESBALL之洁净度必须优于1000级。

      JIS的标准下,E世博ESBALL的洁净度可以分成八个等级,而清洁度主要是指空气的洁净等级,八个等级是指,在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。本世纪,坐高的最尖端的产业的发展加速了产业革命的变革,E世博ESBALL设立的必要性也是要提高的。,商品日渐小型化和精密化,尘埃和湿度温度的变化却对商品会造成很大的伤害,会导致商品的质量下降,由于商品的质量要求的提高,所以对E世博ESBALL的要求也日益变高。所以,E世博ESBALL中的防尘材料和商品都显得很重要。E世博ESBALL就是一个人造的环境,里面的粒子要远远低于一般的环境,随着集成电路的技术的增长,也增加了对制造E世博ESBALL的洁净度的需求,在工业上,就算小于0.1微米的尘埃也会影响到产品的生产和运作,也会降低产品的寿命,优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以E世博ESBALL集成电路制造不可或缺的要素。

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